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单晶硅石墨热场

在太阳能光伏行业,合格的单晶硅热场能够生长出高质量的单晶,因此创造良好的热场条件,在直拉单晶工艺上有非常重要的因素。石墨是单晶生长的载体,石墨在直拉单晶生长炉中以高纯石墨和等静压石墨加工件为主。


热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、(三瓣式)石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,未来防止漏硅,炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。


加热器

加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度最高的时候可以达到1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。就信瑞达石墨接触到的单晶硅加热器形状一般都是直筒状的。一般情况下,加热器采用的高纯石墨加工。


石墨电极

石墨电极的作用平稳固定加热器并通过他岁加热器输送电流。因此在电极要厚重,结实耐用、表面要光滑平稳,保证良好的接触面,通电时不打火,石墨电极也是有高纯石墨加工的。


坩埚托杆、坩埚和托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合牢固,对中性良好在下轴进行转动时,托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是可以调节的。